Фазові переходи

Закони Фіка (процес дифузії)

I закон Фіка. Визначає потік атомів домішок з області з підвищеною концентрацією в область з нижчою концентрацією.

де D – це коефіцієнт дифузії (це кількість атомів домішок, які проходять за одиницю часу крізь одиничний майданчик перпендикулярно направленню дифузії, якщо ); “-” вказує що дифузійне переміщення відбувається в напрямку зменшення концентрації.

I закон Фіка. – це основний закон дифузії, визначає концентрацію домішок, яка вводиться в речовину, в деякій момент часу, на деякій відстані від поверхні, при заданій температурі дифузії.

де - стала, яка дорівнює коефіцієнту дифузії при нескінченно великій температурі. - енергія активації процесу дифузії даної домішки.

1. Термовакуумне напиленя (ТВН). В цьому методі утворюється направлений потік пари речовини і потім конденсації його на поверхні підложки, яка має температуру нижчу температури джерела.
2. Розпилення іонною бомбардировкою. Цим методом отримують плівки з заданими властивостями і є можливість отримання плівки тугоплавких матеріалів і сплавів, складних речовин і матеріалів з низьким тиском пари. Розрізняють: катодне (фізичне і реактивне), іонно – плазмене, ВЧ та магнітне розпилення.
3. Термічне оксидування проводиться методом нагріву до високих температур.
4. Хімічне осадження із парогазової фази. Пари сполук (галогенів, гібридів, карбонітів) постачаються в камеру установки, де розташовані підложки, які нагріті до необхідних температур.

5. Електролітичне і плазмене анодування. Електролітичне анодування – ним отримують плівки оксидів на металах і н/п, процес відбувається в електролітичних ваннах на аноді. Плазмове анодування – це процес утворення оксидних плівок на підложках. За допомогою цього методу отримують більш товсті, і цей метод гарно суміщається з іншими методами отримання структур.

6. Осадження металів з електролітів і розчинів. В основі цього метода лежить явище електролізу, при якому відбувається катодне відновлення катіонів.

Останнє оновлення 05 серпня 2008 р.